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測漏儀的原理及其應用：主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中便會按照不同軌道半徑運動而進行分離，設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上.收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器.通過測量離子流便可知漏率.冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置。